质量流量控制器的工作压差范围概念

发布日期:
2020-05-08
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质量流量控制器的工作压差范围概念

质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门, 阀门能使通过质量流量控制器的流量从零调节到测量的满量程, 在工作的过程当中, 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降, 即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa, 若压差低于低值(0.1 MPa), 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 应做到使质量流量控制器进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定。


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