质量流量控制器在高压环境条件下如何使用?
质量流量控制器的工作压差范围通常比较小, 要在高压条件下正常使用需要特别注意三点:
第一，是要选择耐压符合要求的质量流量控制器; 
第二, 是要挑选工作压差范围大的产品型号;  
第三, 要在质量流量控制器气路前面加减压阀, 稳定入口气压, 在质量流量控制器下游加背压阀, 稳定反应室和质量流量控制器出口的气压, 适当调节减压阀和背压阀, 要保证质量流量控制器的工作压差不会超过规定的范围。
只要做到以上三点,  质量流量控制器就能够在高压条件下稳定工作。