差压式和热式气体质量流量控制器/流量计的优缺点

发布日期:
2020-05-09
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差压式和热式气体质量流量控制器/流量计的优缺点
气体质量流量控制器/流量计(MFC/MFM),通过测量层流元件的差压、压力、温度来计算流量,这种测量方式具有固有的线性,重复性好,高精度,无需预热,温漂小等特点。并且一般气体质量流量控制器/流量计可以同时测量多种气体,瞬时流量,累计流量,温度和绝对压力,并且可以同时显示和输出。

虽然传统热式原理的气体质量流量控制器/流量计(MFC/MFM)不需经过温压补偿即可以直接测量气体的质量流量,但是热式原理产品具有先天性的缺陷,长期加热的工作模式产生的热漂移、反应速度慢等缺点是不可避免的。而采用差压原理的气体质量流量控制器/流量计(MFC/MFM),几乎无零点和温度漂移,反应速度快,无需预热,上电即可操作,解决了长期困扰用户的问题。

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