质量流量控制控制设备能大规模应用的主要原因

发布日期:
2020-05-25
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质量流量控制控制设备能大规模应用的主要原因

  MFC(质量流量控制器)/MFM(质量流量流量计)具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等性能特点。可任意位置安装,可以模拟输出配合流量显示仪或其他流量控制器显示仪使用,也可数字输出直接同计算机实现数据连接,非常方便的实现气体、液体等流体自动测量、控制。质量流量控制器可广泛应用于半导体、真空电子、太阳能、光伏、制气、医疗、航空航天、生物技术、分析仪器等工业自动化领域。

  1、MFC(质量流量控制器)/MFM(质量流量流量计)对于流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。

  对于多数流量测控系统而言,很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计,压力及温度的波动将导致较大的误差;对于质量流量控制设备则一般可以忽略不计。

  2、测量控制的自动化

  质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对质量流量控制器而言还可以实现流量的自动控制。通常带有模拟的MFC(质量流量控制器)/MFM(质量流量流量计)输入输出信号为0~+5V或4~20mA;而数字式MFC(质量流量控制器)/MFM(质量流量流量计)还配有数字通讯接口,能非常方便的与计算机连接实现实时显示和自动控制。

  3、设定量控制流量

  质量流量控制器可以地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。

  4、适用范围宽

  有很宽的工作压力范围,质量流量控制器可以从真空直到10MPa;可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体,如HCL);有很宽的流量范围,质量流量控制器小流量范围可达0~5sccm,大流量范围可达0~200slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%,流量控制范围是满量程的2~100%(量程比为--50:1),因此质量流量控制器在很多工业自动化领域得到广泛应用。

  MFC(质量流量控制器)/MFM(质量流量流量计)具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等性能特点。可任意位置安装,可以模拟输出配合流量显示仪或其他流量控制器显示仪使用,也可数字输出直接同计算机实现数据连接,非常方便的实现气体、液体等流体自动测量、控制。质量流量控制器可广泛应用于半导体、真空电子、太阳能、光伏、制气、医疗、航空航天、生物技术、分析仪器等工业自动化领域。

  1、MFC(质量流量控制器)/MFM(质量流量流量计)对于流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。

  对于多数流量测控系统而言,很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计,压力及温度的波动将导致较大的误差;对于质量流量控制设备则一般可以忽略不计。

  2、测量控制的自动化

  质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对质量流量控制器而言还可以实现流量的自动控制。通常带有模拟的MFC(质量流量控制器)/MFM(质量流量流量计)输入输出信号为0~+5V或4~20mA;而数字式MFC(质量流量控制器)/MFM(质量流量流量计)还配有数字通讯接口,能非常方便的与计算机连接实现实时显示和自动控制。

  3、设定量控制流量

  质量流量控制器可以地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。

  4、适用范围宽

  有很宽的工作压力范围,质量流量控制器可以从真空直到10MPa;可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体,如HCL);有很宽的流量范围,质量流量控制器小流量范围可达0~5sccm,大流量范围可达0~200slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%,流量控制范围是满量程的2~100%(量程比为--50:1),因此质量流量控制器在很多工业自动化领域得到广泛应用。


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