一款优秀的气体流量质量控制设备所应有的特点:
一、优秀气体质量流量控制器产品特点
1、可以在50毫秒内完成稳定的控制响应。稳定的流量取决于控制响应速度,优秀气体质量流量控制器50毫秒内即可到达新的设定值。快速、可重复、稳定!
拥有可靠的稳定性及响应速度,层流压差流量测量技术与高速比例控制阀相结合,使得到达设定值的速度快的惊人。
2、操作便捷
50-100毫秒控制响应
允许用户自行调节测量参数以获得的速度和稳定性
精准阀门孔径以保证满量程流量的稳定性
同一台质量流量控制设备可以实现同时测量、控制质量流量、体积流量或压力
瞬间快速启动、无需预热,1秒内即可开始流量控制
二、优秀气体质量流量控制器产品有多个精装测量系列
标准系列
控制响应快、稳定的流量控制器。
大流量系列
控制大流量(50-3000 slpm)气体。定制化高精准无摩擦阀门,可精密控制大流量的气体流量,特殊的孔状模式允许我们根据您的应用需求量身定制阀门。
低压损系列
大限度减小压损对系统的影响,满量程压损低仅为4mbar(0.06 psid);低压损系列质量流量控制器可控制接近大气压的压力,是航空航天、环境气体分析等特殊高要求领域应用的选择;大量程:0-500 slpm。
耐腐蚀系列
所有量程均可采用适用于腐蚀性气体的316L不锈钢结构。
半导体行业专用系列
可快速、简易地替换老化陈旧的热式流量控制器,可任意定制引脚功能使之与您的控制系统兼容,封闭式阀门设计更是符合半导体行业标准。MCV系列另增加了后置的气动截至阀 ,专门用于真空应用。可定制相应的防腐蚀系列MCES / MCVS。大量程:0-20 slpm.
双向质量流量&压力控制器系列
全球领先的双向质量流量控制器,可正向或反向控制气体流量。可定制低压损系列系列及防腐蚀型系列。