质量流量计/质量流量控制器在半导体行业中应用(一)

发布日期:
2020-06-03
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质量流量计/质量流量控制器在半导体行业中应用(一):

半导体行业中的质量流量计/质量流量控制器应用非常广泛,是为了保证半导体制造品质的一种必须的流体测量和控制配套产品。由此保证了各种特殊气体被精确控制,以此达到半导体产品的高质量。半导体行业常用到一些惰性气体,比如氮气、氦气、氩气等多种特殊气体在这些气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法来生长无错位的高品质单晶,这时候就需要用到多种气体的质量流量计/质量流量控制器,从而精确测量和控制多种气体的给定比例及量。

而半导体行业中主要的制造设备、制造工序单晶炉则就是由气体质量流量计/气体质量流量控制器等多种设备共同组成的,其中主要由提拉头:包含安装盘、减速机、籽晶腔、划线环、电机、磁流体、籽晶称重头、软波纹管等其他部件组成;副室:副室筒包含以及上下法兰组成;炉盖:包含副室连接法兰、翻板阀、观察窗、抽真空管道组成;炉筒:包括取光孔等;下炉筒:主要包括抽真空管道;底座机架:主要包含全铸铁机架和底座;坩埚下传动装置:主要包含有磁流体、电机、坩埚支撑轴、减速机、软波纹管、立柱、上下传动支撑架、导轨等部件组成;分水器已经水路布置主要包括分水器、进水水管、若干胶管、水管卡套等;氩气管道布置主要包括特殊气体质量流量计/特殊气体质量流量控制器、多根以上的柔性管、不锈钢管、多根压力探测器、高密封性卡套等部件;真空泵以及真空除尘装置主要包含油压真空泵、水环真空泵、过滤器、真空管道、硬波纹管等;电源以及电控柜主要包含电源柜、滤波柜、控制柜、以及连接线等。

半导体行业中主要的制造设备、制造工序单晶炉就是由包括质量流量计/质量流量控制器在内的诸多设备共同组成的。


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