质量流量计/质量流量控制器在半导体行业中应用(二)

发布日期:
2020-06-04
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质量流量计/质量流量控制器在半导体行业中应用(二):


提到半导体行业,其中必须会用到的一种工序/工艺叫做退火:也叫热处理。就是指半导体集成电路工艺中所有的在氮气等不活泼气体环境中进行的热处理过程都可以称为退火即热处理。而在这整个的复杂工艺流程过程中都会用到多种气体的质量流量计/多种气体质量流量控制器来精准测量和控制氮气和氢气等多种气体混合的精准比例,从而使半导体部件更好的实现热处理工艺。而半导体行业部件的热处理即退火这个流程能够使半导体部件起到什么样的作用呢?具体表现有以下几点:

1、激活杂质:使不在晶格位置上的离子运动到晶格位置,以便具有电活性,产生自由载流子,起到杂质的作用;而这个阶段气体的质量流量计/气体质量流量控制器精准控制各种气体的混合比例则显的尤为重要。

2、消除损伤:离子植入后回火是为了修复因高能加速的离子直接打入芯片而产生的损毁区(进入底材中的离子行进中将硅原子撞离原来的晶格位置,致使晶体的特性改变)。而这种损毁区,经过回火的热处理后即可复原。这种热处理的回火功能可利用其温度、时间差异来控制全部或局部的活化植入离子的功能;而这整个关键阶段则都是需要气体的质量流量计/质量流量控制器来精准测量和控制氮气和氢气等气体的混合精准比例从而使半导体部件更好消除芯片损伤。

3、氧化制程中的回火主要是为了降低界面态电荷,降低SiO2的晶格结构。而氧化制程中也都是需要质量流量计/质量流量控制器来精准把控氮气和氢气气体的混合精准比例达到半导体氧化过程需要的理想的气体环境,从而使半导体部件降低界面态电荷,降低SiO2的晶格结构。

由此可见在半导体行业这种高精尖行业的整个热处理复杂工艺流程过程中都能够也必须用到气体的质量流量计/质量流量控制器来精准测量和控制氮气和氢气等多种气体精准混合,从而使工艺提高,进而使产品力提高,由中国制造,变为中国智造,“智造”出国际一流水准的半导体产品,由此推动中国的半导体行业早日跻身世界先进乃至领先的行列。


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