气体质量流量计可以用于哪些行业?

发布日期:
2020-11-04
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气体质量流量计‍自从成功研制出来以后,就被广泛应用在电子工艺设备当中,而且,随着全球对清洁能源以及安全能源的需求不断增加,气体质量流量计‍的应用也越来越广泛。那么,有哪些比较常见的气体质量流量计使用‍行业呢?

气体质量流量计可以用于哪些行业?

1、半导体行业

在半导体设备领域当中气体质量流量计能起到很重要的作用。因为,半导体工艺的制作过程中,包括等离子刻蚀、分子束外延、扩散这几个关键工艺,对于气体质量流量的精度检测控制要求极高,同时还要严格控制通过气体的流量,而 则可以满足这些方面的要求。

2、光伏行业

在生产光伏电池片的时候为了保证炉内气体控制的快速稳定,确保气体的快速反应以及准确性,就需要使用气体质量流量计‍,不仅需要实用而且还对其技术指标有很高的要求甚至是需要进行二十四小时连续运转,避免因为气体不稳定或设备重复性等因素的产生,而使产品表面镀膜存在不均匀的情况。

3、燃料电池行业

燃料电池行业是近几年新兴发展起来的行业,可以直接将燃料的化学能转化为电能从而有效避免中间环节的转换损失。而在燃料电池系统中,气体的输送和控制是非常重要的一部分,由于要求高而且还需要进行自动控制和调整,所以也要采用气体质量流量计‍。

其实可以使用气体质量流量计‍的行业还有很多,除了上文所介绍的这三个行业之外就连核工业也可以使用热气体质量流量计‍,由此可见,这种流量计有多么广泛的应用范围。而之所以能够有如此广泛的应用就是因为气体质量流量计‍精度高且性能稳定。

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