操作气体质量流量控制器要重点注意哪几点

发布日期:
2021-01-08
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气体质量流量控制器的操作相对简单,而且后期维护并不复杂,它可以根据空间场所的实际需求进行扩充和改造,因为该种控制设备在出厂前需要经过多次检验,所以它的整个系统具有可靠性的特点,在设备实际操作时也没有过多的障碍,那么操作可靠的气体质量流量控制器‍要重点注意哪几点呢?

气体质量流量控制器1.png

1、保持系统稳定且密闭

注意加装过滤器以净化气源,延长气体质量流量控制器的使用寿命。对于反应系统建议在气体质量流量控制器的出气端加装单向阀,以防止异常情况下反应物倒流损坏,对于高压系统应在气体质量流量控制器的下游加装背压阀(或其它节流装置)及压力表,以便于保证它的工作压差。对于硅烷这样的遇空气易形成结晶的气体,应特别注意系统的密闭性(检漏时不要忽视减压器),必要时设计吹洗旁路随时进行氮气吹洗或正压保持。对于要求比较高的气路系统,注意气路接头尽量减少并采用VCR等接头。对于使用有害气体的系统,必须严格检漏。气路柜应有排风系统,防止对人员和气体质量流量控制器设备的损伤。

2、注意操作正确

有高频源的系统应注意屏蔽并特别注意处理好接地问题,例如采用单点接地,具有优势的气体质量流量控制器‍的安装位置应易于装卸﹑检测﹑调零,并安全可靠,对可靠性要求极高的系统,应注意冗余设计。对于比较复杂的系统或使用有害气体的系统,应当制定完善的安全操作规程,防止发生误操作。目前的气体质量流量控制器通常采用的密封材料是氟橡胶,能适合大多数气体的使用,包括HCL这样的强腐蚀性气体。

在使用完气体质量流量控制器之后需要根据规定按照正确的步骤进行收纳,在整个过程当中不要产生过大的震动,因为专业人士称震动是导致气体质量流量控制器损坏的重要原因之一,强烈的撞击会出现不可逆的损坏,也会影响它的功能性,这样才可以延长气体质量流量控制器的寿命。

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