日本KOFLOC 5100系列质量流量控制器-内抛光
日本KOFLOC 5100系列质量流量控制器-内抛光

日本KOFLOC 5100系列质量流量控制器-内抛光

日本KOFLOC
5100系列质量流量控制器-内抛光

 

金属密封,泄漏率1*10-11pa·m³/s以下

内部抛光Ra≤0.1,杜绝二次污染介质

±15VDC供电性能稳定,0-5V模拟信号更加通用

适用于高真空、半导体以及对管路洁净度高要求场合


    ★性能参数


5100质量流量控制器


量程(N2)

1SCCM-20SLPM

精度

±1.0%FS

重复性

±0.2%FS

响应时间

1秒以内

耐压

1.0Mpa

进口最大压力

O.3Mpa

动作压差

0.05-0.3Mpa

泄漏率

1*10-11pa·m³/s以下

内抛光

Ra≤0.1

温度范围

5-45℃

湿度范围

10-90%RH(不能结露)

材质

本体SUS316L


密封圈SUS316L、PTFE

电气接口

DB9

模拟信号

0-5V输入/输出

供电

+15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)100mA;

管路连接

标配1/4UJR


选配1/8UJR

重量

约1000g


    ★电器连接


针脚/颜色

定义

1针脚/棕色

阀门全开/全闭

2针脚/白色

0-5V输出

3针脚/红色

+15VDC

4针脚/黑色

电源COM

5针脚/黄色

-15VDC

6针脚/灰色

0-5V输入

7针脚/绿色

输出COM

8针脚/兰色

输入COM

9针脚/紫色

阀门电源输出


    ★使用注意


一:进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用,保证气体的干燥干净《湿度不超过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米》。

二:用肥皂水对管路进行泄漏检测时,只能将肥皂水喷洒在管路接头上,不能喷在仪表或电气插头上。

三:安装前,请将设备管路进行整体吹扫。

四:耐压1.0Mpa,进口最大压力5公斤。

五:需要进行零点漂移清零的时候,确认进/出口没流量没压力下 再操作。


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