KOFLOC 可达1000SLM大流量质量流量控制器 HFC-303系列
KOFLOC 可达1000SLM大流量质量流量控制器 HFC-303系列

KOFLOC 可达1000SLM大流量质量流量控制器 HFC-303系列

HFC-303是一种大流量质量流量控制器,通过结合电磁式先导阀和为大流量控制开发的气动流量控制阀,可实现大流量的高精度气体控制,这在过去很难实现。

作为HFC-203系列的后续产品,HFC-203系列已广泛应用于工业领域,是一种新型号,可实现更高的精度和高速响应。

采用两级控制阀,支持高达1000 SLM的高流量

即使流量大,也能实现±1.0%的高精度

确保传统型号的高速响应性能

支持超过1000SLM流量



流量范围
(N2转换20°C / 1 ATM)
100〜300 SLM(可选)301〜1000 SLM(可选
传感器方式热绕组传感器
阀门方式比例螺线管阀门(未通电时关闭)
控制范围2~100%(F.S.)5~100%(F.S.)
准确性±1%F.S.(25°C)
温度系数0.1%F.S./°C(15~35°C)0.2%F.S./°C(15~35°C)
再现性±0.25%F.S.
压差个人反应
耐压3.4MPa(G)(HP选项6.8MPa(G))
He泄漏率(* 1)1 x 10-7 Pa.m3/s以下
允许周围温度5~45℃
允许环境湿度10~90%RH(无结露)
气体接触材料主体SUS316,Ni,SUS302
隔膜FKM
阀座FKM
密封材料FKM(选件CR,Kallets)
电气连接Dsub 15针
流量设定
输入信号
0~5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)
流量输出信号0~5 VDC(外部负载电阻250kΩ以上)
所需电源+15 VDC(±5%)150 mA,
-15 VDC(±5%)300 mA
配件(车身尺寸)标准1/2 SWL(3 / 4.16 UNF)标准3/4 SWL(1.1 / 16.12 UNF


接线连接(D-sub 15PIN)


PIN信号名称PIN信号名称
1NC9电源-15VDC
2NC10NC
3NC11电源+ 15VDC
4NC12电源COM
5电源COM13NC
6输出信号0-5V14设定信号
7NC15NC
8强制阀门打开/关闭 

KOFLOC 可达1000SLM大流量质量流量控制器 HFC-303系列



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